一、行(háng)業簡介
半導(dǎo)體、集成電路芯(xīn)片及封裝(zhuāng)、液晶顯示、高精度線路板、光電器件(jiàn)、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模(mó)集成電(diàn)路需用大量的純水、高純水(shuǐ)、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集(jí)成度(dù)越高,線寬越窄,對水質的要(yào)求也越高。目前我國電子(zǐ)工業部(bù)把電子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質(zhì)。
二、應用範圍
1、電子、電力(lì)、電鍍、照明電(diàn)器、實驗室、食品、造紙、日化、建材(cái)、造漆、蓄電池、化驗、生物、製(zhì)藥、石(shí)油、化工(gōng)、鋼鐵、玻(bō)璃等領域。
2、化工工藝(yì)用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體(tǐ)芯片(piàn)、半導體封裝 、引線櫃架、集成電路(lù)、液晶顯示器、導電玻璃、顯(xiǎn)像管(guǎn)、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔淨產品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。
三、工藝簡介
1、係統模塊化設計(jì),共分四部分:預處理係統、反滲(shèn)透係統、EDI係統(tǒng)、終端供水係統。
2、預(yù)處理係統主要用來去除原(yuán)水中的(de)懸浮物、濁度、色度、膠體以及部分有機物,保證產水符合反滲透係統的進水水質要求。
3、反滲透係統主要(yào)用來(lái)去除原水中(zhōng)溶解性鹽類物質、細菌、熱源等,保證產水符(fú)合EDI係(xì)統進水水質要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進行進一步脫除溶解性的小分子鹽類物(wù)質,產水達到電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要(yào)是用來(lái)將(jiāng)合格水輸送至用水(shuǐ)點,輸(shū)送過程中對EDI產生進(jìn)行最後的離子交(jiāo)換脫鹽(yán),使得產水達到電(diàn)阻率達到18MΩ.cm以(yǐ)上。
6、整個係統進行集(jí)中(zhōng)控製。
四、技術特色
1、係(xì)統模塊化設計,占地麵積小,操作維護方便,安裝方(fāng)便快捷,整體美觀。
2、整套係統實現全(quán)自動化運行,並(bìng)且手動與自動自由切換。
3、設(shè)備產(chǎn)水水質穩定,運行連續穩定。
4、係(xì)統工藝(yì)先進,無需化學藥(yào)品(pǐn)再生,無危害性廢液(yè)排(pái)放(fàng)。
5、係統節水率高,係統回收率在(zài)75%以上。
6、關鍵部位采用在線儀表(biǎo)監測,適時數據(jù)上傳。
五、設備參數
1、係統回(huí)收率:
超濾≥90%
一級反滲透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設(shè)備產水符(fú)合《電(diàn)子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半(bàn)導體工業(yè)純水指標。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。