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電子行業用水

電子行(háng)業用水.jpg

一、行業簡介
        半導體、集成電路(lù)芯(xīn)片及封裝、液(yè)晶顯示、高精(jīng)度線路板、光電器件、各種電子器(qì)件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需用大量的(de)純水(shuǐ)、高純水、超純水清(qīng)洗半成品、成品。集成電路的集成度越高(gāo),線寬越(yuè)窄,對水質的要求也越(yuè)高。目前我(wǒ)國電子工(gōng)業部把電子級水質技術分為(wéi)五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電(diàn)鍍、照明(míng)電器、實驗室、食品、造(zào)紙(zhǐ)、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導(dǎo)體晶片切割製造(zào)、半導體(tǐ)芯片、半導體封裝 、引線櫃架、集成電路(lù)、液晶顯示器(qì)、導電玻璃、顯像管(guǎn)、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔淨產品及各種元器件等生產工藝用純水。
三、工(gōng)藝簡介
1、係統模塊化設計,共分四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預處理係統主要用(yòng)來去除原水(shuǐ)中的懸浮物、濁度、色度、膠體以及部分有機物,保證產水符合反滲透係統的進水水質要(yào)求。
3、反滲透係統主要用來去除原水中溶解性鹽類物(wù)質、細菌、熱源等,保(bǎo)證產水符合(hé)EDI係統進水水質要(yào)求。
4、EDI係統主要用來對(duì)反滲透產水進行進一步脫除溶解性的小分子鹽類物質,產水達到電阻(zǔ)率(lǜ)達到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是用來將合格水輸送至用水(shuǐ)點,輸送過程中對EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使得產水(shuǐ)達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。

四、技(jì)術特色
1、係統模塊化設計,占地麵(miàn)積小(xiǎo),操作維護(hù)方便(biàn),安裝方便(biàn)快捷,整體美觀。
2、整套係(xì)統(tǒng)實現全自動化運(yùn)行,並且(qiě)手動與自動自由(yóu)切換(huàn)。
3、設備產(chǎn)水水(shuǐ)質(zhì)穩定,運行連續穩定。
4、係(xì)統工藝先進,無需化學藥品(pǐn)再生,無危害性廢液排放。
5、係統節水率高,係統回收率在75%以上。
6、關鍵部位采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備(bèi)參數
1、係統回收率:
        超濾≥90%
        一(yī)級反滲透(tòu)≥75%
        二級反滲透≥85%
        EDI係統≥90%
2、設備(bèi)產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體工業純水指標。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。

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